VOC处理

海外半导体设备巨子巡礼系列:先晶(ASM)深耕薄膜堆积外延设备专业化布局的半导体龙头

2025-02-22 新闻中心

  ASM前期以CVD技能发家,后经过收买开展为全球ALD&碳化硅外延设备巨子。从1990年代起,ASM开端专心于ALD设备的研制和商业化使用。在1994年和2004年,ASM别离收买了ASM Microchemistry(专心于ALD设备的研制)和ASMGenitech Korea(专心于PEALD设备的研制)。到了2007年,公司的Pulsar ALD设备成为全世界首个用于大规模出产选用新式铪基High-K介电资料器材的体系,由此确立了其作为全球最大的ALD设备供货商的位置,商场占有率超越50%。进入2020年代后,ASM进一步拓宽事务,将碳化硅外延设备作为公司的第二添加曲线年,公司收买了坐落意大利的LPE公司,慎重进入碳化硅外延设备商场。电动轿车商场的敏捷添加,成为了推进这一商场敏捷扩张的首要动力。

  跟着AI与先进制程开展对半导体需求的日益增高,叠加3D DRAM和3D NAND存储芯片连续完结研制扩产,ALD技能已成为半导体晶圆设备中添加最快的范畴之一。依据ASM在2023年投资者日发表的信息,2022年全球ALD商场规模到达26亿美元,估计到2025年全球ALD商场规模将添加至31亿至37亿美元,到2027年商场规模将到达42亿至50亿美元,2022至2027年间的复合年添加率(CAGR)估计为10%至14%。作为全世界抢先的ALD设备供货商,ASM公司将从这一添加趋势中获益。

  ASM在硅外延技能方面占有全球第二大供货商的位置。2022年,ASM经过收买意大利LPE公司,拓宽了碳化硅外延设备的新事务线,这一范畴已成为公司添加最快的事务之一。ASM供给包含Epsilon、Intreprid在内的硅外延设备,以及PE106/108和PE208等碳化硅外延设备,后者以其双腔室规划和全盒式操作提高了设备保护的快捷性。跟着新能源轿车商场的敏捷添加,估计到2027年,新能源轿车导电型SiC功率器材商场规模将到达50亿美元。ASM凭仗其在碳化硅外延设备范畴的技能优势,有望在这一添加趋势中充沛获益。

  展望国内,看好专业化布局的微导纳米引领ALD国产代替,与拓荆科技和北方华创一起成为国内ALD技能的先行者。碳化硅事务方面,我国晶盛机电在全球碳化硅工业中占了重要位置,其碳化硅外延炉出货量国内抢先,全方面掩盖6-8寸干流技能道路英寸双片式碳化硅外延炉在产能和本钱效益上都有明显提高,看好晶盛碳化硅事务跟从新能源轿车和光伏发电等新式范畴快速放量。